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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:等離子測試系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:CY-PLT30-A
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
本設(shè)備為客戶定制等離子測試設(shè)備。設(shè)備主要部件為一個電感耦合的等離子發(fā)生器,發(fā)生器能夠在電感線圈內(nèi)部的石英管內(nèi)產(chǎn)生等離子體,石英管兩側(cè)的法蘭配有觀察窗,用戶可以在觀察窗上觀察實驗現(xiàn)象或者用其他儀器測量相關(guān)參數(shù)。設(shè)備采用觸控屏控制,屏幕集成所有實驗功能,如抽放真空、流量控制、射頻電源調(diào)節(jié)等。同時電感線圈采用水冷設(shè)計,外殼另有散熱風扇,保證了整套設(shè)備長時間工作的穩(wěn)定性。該設(shè)備是高校實驗室進行等離子體相關(guān)性質(zhì)研究的必備儀器。
詳情介紹:

技術(shù)規(guī)格:

供電電壓

AC220V,50Hz

*大功率

1KW

耦合方式

電感耦合

石英腔體

O.Dφ30mm X 150mm   壁厚3.5mm

觀察窗尺寸

φ30mm

真空接口

KF16

進氣口接口

6.35mm 卡套接頭 

質(zhì)量流量計

Ar標定 量程100sccm

真空泵

雙極旋片真空泵

極限真空度

0.1Pa

冷卻方式

水冷銅管+風冷殼體

射頻電源

*大輸出功率300W

自動匹配

頻率13.56MHz

整機尺寸

560mm X 620mm X 620mm


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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