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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:1200℃三路供氣低真空度旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-CVD1200-60-200×200×200-3TH-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
1200℃三路供氣低真空度旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)采用高純石英制作爐管。旋轉(zhuǎn)裝置為風(fēng)冷法蘭,摩擦傳動(dòng),傾角(0-15°)任意可調(diào)。管式爐三個(gè)溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫,通過(guò)調(diào)節(jié)各個(gè)溫區(qū)的溫度,該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域。1200℃三路供氣低真空度旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)每個(gè)溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序,同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表,可以用來(lái)控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。
詳情介紹:

如果您需要保持物料的單粒結(jié)構(gòu)(如在干燥或煅燒物料時(shí)),旋轉(zhuǎn)管式爐是您的理想選擇。爐管持續(xù)不斷的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和氣氛保護(hù)的結(jié)合應(yīng)用能使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果為您帶來(lái)理想的處理結(jié)果。

該設(shè)備主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)椋?/span>粉末冶金、陶瓷、耐火材料、鋰電正負(fù)極材料、新能源等行業(yè)顆粒粉末燒成、煅燒,測(cè)定材料。

1200℃三路供氣低真空度旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):

Max功率

4.5kw

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管直徑

兩端60mm,中間100mm

爐管長(zhǎng)度

1400mm

爐膛長(zhǎng)度

600mm

加熱區(qū)長(zhǎng)

200mm+200mm+200mm

工作溫度

01100

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

高亮數(shù)字顯示

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

傾斜角度

0~15°

轉(zhuǎn)速

0~20轉(zhuǎn)

統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-3F

氣體通道

3通道

測(cè)量部件

氣體浮子流量計(jì)

測(cè)量量程

A通道:0100ml/min    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。

B通道:16160ml/min    N2

C通道:25250ml/min    Ar

測(cè)量精度

±2.0%

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣速率

1.1L/S   

排氣接口

KF16

真空測(cè)量

電阻規(guī)

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16

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